Лот № 1 Упрощённой закупки № 2675890
Право заключения договора на поставку установок атомно-слоевого осаждения металлов, оксидов и нитридов, ионно-лучевого травления, нанесения плотных диэлектрических слоев (лот 47)

№	Наименование	Количество	Единицы измерения
1	Установка атомно-слоевого осаждения ТЗ 39 поз.47.1	1	ШТ
2	Установка ионно-лучевого травления ТЗ 39 поз.47.2	1	ШТ
3	Установка нанесения плотных диэлектрических слоев оптического качества ТЗ 39 поз.47.3	1	ШТ